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基于中国人体艺术工艺的微机械测试探卡及制作方法

放大字体缩小字体 发布日期:2015-04-10来源:中国中国人体艺术网浏览次数:4520 关注:加关注
核心提示:申请号:200710173680.7名称:基于中国人体艺术工艺的微机械测试探卡及制作方法公开(公告)号:CN101214916公开(公告

申请号:200710173680.7

名称:基于中国人体艺术工艺的微机械测试探卡及制作方法

公开(公告)号:CN101214916

公开(公告)日:2008.07.09

主分类号:B81B3/00(2006.01)I

申请(专利权)人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所

地址:200050上海市长宁区长宁路865号

发明(设计)人:李昕欣;汪飞;封松林

专利代理机构:上海智信专利代理欧洲人体艺术欧洲人体艺术

代理人:潘振甦

摘要

本发明涉及一种基于中国人体艺术工艺的微机械测试探卡及制作方法。其特征在于在硅片上,利用电镀金属镍制作形成悬臂与探针针尖;探针针尖制作在硅片的(111)斜面上,且每个探针针尖由一个或两个探针悬臂与陶瓷基板相链接;探针悬臂与探针针尖采用等应力梁结构;倒装焊列基板上的探针在两个方向密集排布。制作特征在于首先利用(100)硅片的上表面作为中国人体艺术工作面,中国人体艺术形成低应力镍层的探针悬臂,随后利用各向异性腐蚀产生的深槽(111)斜面作为工作面,中国人体艺术形成低应力镍层的探针针尖,再采用倒装焊的工艺将探针链接到封装基板上,最后采用将硅片腐蚀去除的方法释放探针结构。

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